過(guò)氧化氫低溫等離子滅菌器的工作原理是通過(guò)過(guò)氧化氫低溫等離子體進(jìn)行滅菌，消毒過(guò)程中通過(guò)特定方式使醫(yī)療器械和手術(shù)器械上的多種微生物失去活性，從而達(dá)到滅菌目的。主要應(yīng)用于臨床的醫(yī)療材質(zhì)和幾何形狀都符合要求的器材，只要按照要求進(jìn)行使用，該滅菌柜就能恒定地達(dá)到10-6SAL的滅菌水平。

最早引入等離子滅菌技術(shù)的是美國(guó)強(qiáng)生公司，目前國(guó)內(nèi)的生產(chǎn)廠家如普東醫(yī)療、成都老肯、山東新華等都是極具知名度的。

過(guò)氧化氫低溫等離子滅菌器既可對(duì)金屬醫(yī)療器械進(jìn)行低溫滅菌，也可對(duì)非金屬醫(yī)療器械進(jìn)行低溫滅菌。通過(guò)過(guò)氧化氫在艙室內(nèi)擴(kuò)散，然后將過(guò)氧化氫“激勵(lì)”成等離子體狀態(tài)，對(duì)醫(yī)療器械進(jìn)行滅菌。過(guò)氧化氫蒸汽通過(guò)與等離子體結(jié)合，可對(duì)醫(yī)用器械和材料安全、迅速滅菌，不留任何毒性殘余。滅菌過(guò)程的各階段都是在干燥的低溫環(huán)境下運(yùn)行，因此不會(huì)損壞對(duì)熱或水汽敏感的器械，對(duì)金屬和非金屬器械都適用，并能對(duì)諸如止血鉗鉸鏈等難以到達(dá)（不易擴(kuò)散）的器械部位進(jìn)行滅菌。

過(guò)氧化氫等離子體是1990年代開(kāi)始面世的一項(xiàng)新低溫滅菌技術(shù)。等離子體被認(rèn)為是液態(tài)、氣態(tài)、固態(tài)之外的第四種狀態(tài)，是氣體分子在極度真空的腔體內(nèi)受激發(fā)而形成的。過(guò)氧化氫等離子體滅菌，具有滅菌循環(huán)時(shí)間短，徹底分解終產(chǎn)物毒性低的優(yōu)勢(shì)。然而由于考慮到Mycobacteria tuberculosis污染的問(wèn)題，美國(guó)FDA至今沒(méi)有批準(zhǔn)采用擴(kuò)散增強(qiáng)器（diffusion enhancer）來(lái)解決過(guò)氧化氫蒸汽穿透長(zhǎng)而窄的管腔物品困難的問(wèn)題。