過氧化氫低溫等離子滅菌器的工作原理是通過過氧化氫低溫等離子體進行滅菌，消毒過程中通過特定方式使醫(yī)療器械和手術器械上的多種微生物失去活性，從而達到滅菌目的。主要應用于臨床的醫(yī)療材質和幾何形狀都符合要求的器材，只要按照要求進行使用，該滅菌柜就能恒定地達到10-6SAL的滅菌水平。

最早引入等離子滅菌技術的是美國強生公司，目前國內的生產廠家如普東醫(yī)療、成都老肯、山東新華等都是極具知名度的。

過氧化氫低溫等離子滅菌器既可對金屬醫(yī)療器械進行低溫滅菌，也可對非金屬醫(yī)療器械進行低溫滅菌。通過過氧化氫在艙室內擴散，然后將過氧化氫“激勵”成等離子體狀態(tài)，對醫(yī)療器械進行滅菌。過氧化氫蒸汽通過與等離子體結合，可對醫(yī)用器械和材料安全、迅速滅菌，不留任何毒性殘余。滅菌過程的各階段都是在干燥的低溫環(huán)境下運行，因此不會損壞對熱或水汽敏感的器械，對金屬和非金屬器械都適用，并能對諸如止血鉗鉸鏈等難以到達（不易擴散）的器械部位進行滅菌。

過氧化氫等離子體是1990年代開始面世的一項新低溫滅菌技術。等離子體被認為是液態(tài)、氣態(tài)、固態(tài)之外的第四種狀態(tài)，是氣體分子在極度真空的腔體內受激發(fā)而形成的。過氧化氫等離子體滅菌，具有滅菌循環(huán)時間短，徹底分解終產物毒性低的優(yōu)勢。然而由于考慮到Mycobacteria tuberculosis污染的問題，美國FDA至今沒有批準采用擴散增強器（diffusion enhancer）來解決過氧化氫蒸汽穿透長而窄的管腔物品困難的問題。