最早引入等離子滅菌技術的是美國強生公司，目前國內的生產(chǎn)廠家如普東醫(yī)療、成都老肯、山東新華等都是極具知名度的。

過氧化氫低溫等離子滅菌器既可對金屬醫(yī)療器械進行低溫滅菌，也可對非金屬醫(yī)療器械進行低溫滅菌。通過過氧化氫在艙室內擴散，然后將過氧化氫“激勵”成等離子體狀態(tài)，對醫(yī)療器械進行滅菌。過氧化氫蒸汽通過與等離子體結合，可對醫(yī)用器械和材料安全、迅速滅菌，不留任何毒性殘余。滅菌過程的各階段都是在干燥的低溫環(huán)境下運行，因此不會損壞對熱或水汽敏感的器械，對金屬和非金屬器械都適用，并能對諸如止血鉗鉸鏈等難以到達（不易擴散）的器械部位進行滅菌。

過氧化氫等離子體是1990年代開始面世的一項新低溫滅菌技術。等離子體被認為是液態(tài)、氣態(tài)、固態(tài)之外的第四種狀態(tài)，是氣體分子在極度真空的腔體內受激發(fā)而形成的。過氧化氫等離子體滅菌，具有滅菌循環(huán)時間短，徹底分解終產(chǎn)物毒性低的優(yōu)勢。然而由于考慮到Mycobacteria tuberculosis污染的問題，美國FDA至今沒有批準采用擴散增強器（diffusion enhancer）來解決過氧化氫蒸汽穿透長而窄的管腔物品困難的問題。

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